La Microscopie Électronique à Balayage (MEB) est un outil qui permet de visualiser à très haute résolution la morphologie, la composition chimique et la cristallographie des échantillons. Grâce à l’analyse par spectroscopie en dispersion d’énergie (EDS), les atomes présents dans l’échantillon peuvent être déterminés.

Applications

  • Visualisation la morphologie des échantillons
  • Image en contraste de compositions (en utilisant des électrons rétrodiffusés).
  • Analyse de la composition chimique par génération de rayons X depuis l’échantillon (EDS).
  • Etude du comportement optoélectronique des semi-conducteurs par cathodoluminescence
  • Visualisation des zones de charge d’espace (EBIC)
Observation en microscopie électronique d'un bond pad
Observation en microscopie électronique d’un bond pad

Visualisation MEB

topographique

Inspection visuelle,
Visualisation de défauts

Imagerie de contraste en Z

(Numéro atomique)

Visualisation de matériaux différents

Microanalyse

MEB/EDS

Identification des éléments
chimiques dans l’échantillon,
Localisation des éléments
dans l’échantillon

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